7N tellur arassalaýyş prosesi zonany arassalamak we “kristallaşdyrmak” tehnologiýalaryny birleşdirýär. Esasy proses jikme-jiklikleri we parametrleri aşakda görkezilýär:
1. Zonany arassalamak prosesi
“Enjam dizaýny”
Multi gatlakly ýyllyk zonanyň ereýän gaýyklary: diametri 300–500 mm, beýikligi 50–80 mm, ýokary arassa kwarsdan ýa-da grafitden.
atingyladyş ulgamy: temperature 0,5 ° C we iň ýokary iş temperaturasy 850 ° C bolan ýarym tegelek garşylykly rulonlar.
KeyKaý parametrleri
Wakuum: okislenmegiň we hapalanmagyň öňüni almak üçin ≤1 × 10⁻³ Pa.
Zonanyň syýahat tizligi: 2-5 mm / sag (sürüjiniň üsti bilen bir taraplaýyn aýlanma).
Temperatura gradienti: eredilen zonanyň öň tarapynda 725 ± 5 ° C, yzky gyrasynda <500 ° C çenli sowadylýar.
Passes: 10-15 aýlaw; aýyrmak netijeliligi> aýralyk koeffisiýentleri bolan hapalar üçin 99,9% (meselem, Cu, Pb).
2. Ugurly kristallaşdyrma prosesi
Melt taýynlyk
Material: 5N tellur zonany arassalamak arkaly arassalanýar.
Ermek şertleri: frequokary ýygylykly induksiýa ýyladyşyny ulanyp, inert Ar gazynda (≥99.999% arassalygy) 500–520 ° C-de eredilýär.
Melt goragy: üýtgäp durmagy basmak üçin ýokary arassa grafit örtügi; eredilen howuzyň çuňlugy 80-120 mm aralygynda saklanýar.
“Kristalizasiýa gözegçiligi”
Ösüş tizligi: dikligine temperatura gradienti 30–50 ° C / sm bolan 1–3 mm / sag.
Sowuklama ulgamy: Mejbury aşagy sowatmak üçin suw bilen sowadylan mis bazasy; ýokarsynda radiatiw sowadyş.
Harassyzlygyň bölünişi: Fe, Ni we beýleki hapalar, 3-5 aýlawdan soň däne araçäklerinde baýlaşdyrylýar, konsentrasiýalary ppb derejesine çenli peseldýär.
3. Hil gözegçiligi ölçegleri
Parametriň standart bahasy salgylanmasy
Soňky arassalygy ≥99.99999% (7N)
Jemi metal hapalary ≤0.1 ppm
Kislorodyň mukdary ≤5 ppm
Kristal ugry gyşarmasy ≤2 °
Çydamlylygy (300 K) 0,1–0.3 Ω · sm
Pr Prosess artykmaçlyklary
“Ölçeglilik”: Köp gatlakly ýyllyk zonanyň ereýän gaýyklary, adaty dizaýnlar bilen deňeşdirilende partiýanyň kuwwatyny 3–5 increase ýokarlandyrýar.
“Netijelilik”: Takyk vakuum we ýylylyk gözegçiligi ýokary haramlygy aýyrmaga mümkinçilik berýär.
Kristal hil: Ultra haýal ösüş depgini (<3 mm / sag) pes ýerleşiş dykyzlygyny we bir kristal bitewiligini üpjün edýär.
Bu arassalanan 7N tellur, infragyzyl detektorlar, CdTe inçe filmli gün öýjükleri we ýarymgeçiriji substratlar ýaly ösen programmalar üçin möhümdir.
Salgylar:
tellur arassalamak boýunça deň-gözden geçirilen gözlegleriň tejribe maglumatlaryny görkezýär.
Iş wagty: Mart-24-2025